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超薄平面直线导向运动模组

超薄平面直线导向运动模组

详细说明

 Ultra-thin plane linear guided motion module

² 推荐应用:激光加工、半导体、显微镜、光纤对准

² 产品特性:

高刚度交叉滚子导向;

超薄,超小尺寸

直线电机驱动,高动态响应;

可选行程、高精度。

² 性能指标:

指标

参数

单位

X

Y

X

Y

 

行程

100

150

mm

定位精度

±1.5

±1.5

±1.5

±1.5

μm

重复定位精度

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

μm

直线度

±3

±3

μm

平面度

±3

±3

μm

最大速度

50

50

mm/s

最大加速度

0.5

0.5

mm/s^2

负载能力

1

1

Kg

外形尺寸

190X190X69

240X240X69

mm×mm×mm