硅片传输机械手
详细说明
Wafer transfer manipulator
² 推荐应用：半导体领域
² 产品特性：
l 伯努利吸盘；
l 高动态响应；
l 大负载；
l 高精度。
² 性能指标：
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指标 |
参数 |
单位 |
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晶圆尺寸 |
300/600 |
mm |
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平动重复定位精度 |
±0.02 |
mm |
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平动速度 |
1000 |
mm/s |
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角速度 |
360 |
°/s |
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平动行程 |
360 |
mm |
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垂向行程 |
300 |
mm |
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负载能力 |
1 |
Kg |
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整机重量 |
50 |
Kg |
