平面直线导向运动模组
详细说明
Plane linear guided motion module
² 推荐应用：激光加工、半导体、显微镜、光纤对准
² 产品特性：
l 高刚度交叉滚子导向；
l 十字堆叠，结构简单
l 直线电机驱动，高动态响应；
l 可选行程、高精度。
² 性能指标：
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指标 |
参数 |
单位 |
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轴 |
X |
Y |
X |
Y |
|
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行程 |
100 |
150 |
mm |
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定位精度 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
μm |
|
重复定位精度 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
μm |
|
直线度 |
±1 |
±1.5 |
μm |
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|
平面度 |
±1 |
±1.5 |
μm |
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最大速度 |
500 |
500 |
mm/s |
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|
最大加速度 |
1 |
1 |
g |
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负载能力 |
10 |
10 |
Kg |
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外形尺寸 |
240×240×100 |
290×290×100 |
mm×mm×mm |
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