直线机械导向运动模组
详细说明
Linear mechanically guided motion module
² 推荐应用：激光加工、半导体、精密医疗、显微镜、光纤对准
² 产品特性：
l 高刚度交叉滚子导向；
l 直线电机驱动，高动态响应；
l 轻质量、高模态设计；
l 可选行程、高精度。
² 性能指标：
|
指标 |
参数 |
单位 |
||
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行程 |
100 |
150 |
200 |
mm |
|
定位精度 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
μm |
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重复定位精度 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
μm |
|
直线度 |
±1.5 |
±2.0 |
±2.0 |
μm |
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最大速度 |
350 |
350 |
350 |
mm/s |
|
负载能力 |
10 |
10 |
10 |
Kg |
|
外形尺寸 |
240×170×50 |
290×170×50 |
340×170×50 |
mm×mm×mm |
