直线气浮导向运动模组
详细说明
Linear air bearing guided motion module
² 推荐应用：激光加工、半导体、精密医疗、显微镜、光纤对准
² 产品特性：
l 高刚度气浮导向；
l 直线电机驱动，高动态响应；
l 大理石基座，高稳定性；
l 可选行程、高精度。
² 性能指标：
|
指标 |
参数 |
单位 |
|||
|
行程 |
50 |
100 |
150 |
200 |
mm |
|
定位精度 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
±0.3 |
μm |
|
重复定位精度 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
μm |
|
直线度 |
±0.5 |
±0.5 |
±1.0 |
±1.0 |
μm |
|
最大速度 |
300 |
300 |
300 |
300 |
mm/s |
|
负载能力 |
5 |
5 |
5 |
5 |
Kg |
|
外形尺寸 |
357×275×93 |
407×275×93 |
457×275×93 |
507×275×93 |
mm×mm×mm |
